真空箱氦检，核心原理是利用氦气作为示踪气体，通过高灵敏度的氦质谱检漏仪在真空环境下检测氦气的浓度，判断工件是否存在泄漏以及泄漏率，是一种结合了高灵敏度、高自动化、安全可靠和定量化的高端泄漏检测方法，是对密封性有严苛要求的行业（如汽车、新能源、半导体、航空航天）不可缺少的质量控制方式。
真空箱氦检技术的特点
极高的灵敏度和精度：
氦气分子极小，极易通过微米级甚至纳米级的漏孔。氦质谱检漏仪对氦气有专属的识别能力，该方法能检测到极其微小的泄漏，灵敏度可达 10⁻¹¹ 至 10⁻¹² pa·m³/s 级别，远超压力衰减法、气泡法等传统方法。
检测在真空环境下进行，避免了空气中其他气体的干扰，本底噪声极低。系统具备“本底抑零”功能，进一步排除了环境干扰，确保检测结果准确可靠。
高度自动化与高效率：
整个流程（抽真空、充氦、检测、回收、判断结果）均由plc全自动控制，无需人工干预。
生产节拍快，非常适合集成到自动化生产线中，实现在线全检，大大提高了生产效率。
安全性高：
所有高压检测过程均在密闭的真空箱内进行，有效保护了操作人员的安全。
氦气是惰性气体，无毒、不燃、不爆，化学性质稳定，使用安全环保。
定量检测，可追溯：
不仅能判断工件是否泄漏，还能精确测量出泄漏的具体数值，为产品质量提供数据支持。
检测数据可以被记录和保存，便于进行质量追溯和统计分析。
经济性：
氦气是稀有气体，成本较高。真空箱氦检系统通常集成氦气回收装置，能够将工件内的大部分氦气回收、纯化并重复利用，氦气收率可达85%以上，降低长期运行成本。
广泛适用性：
尤其适用于形状复杂、内部腔体多、不便从外部喷吹氦气的中小型零部件（如电子元件、汽车空调管路、动力电池、液冷板等）。
真空箱氦检具有高灵敏度、高精度、高安全性、自动化、高效率、经济环保等优势，能对复杂工件实现精准定量检漏，目前已经广泛应用于新能源、汽车及半导体等对密封性要求严苛的领域。
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